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中國(guó)科學(xué)院嘉興微電子儀器與設(shè)備工程中心成立于2009年 4月，是中國(guó)科學(xué)院微電子研究所與嘉興市人民政府共同組建的技術(shù)轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化、研發(fā)、中試和高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)孵化的創(chuàng)新平臺(tái)機(jī)構(gòu)。中心位于浙江中科院應(yīng)用技術(shù)研究院園區(qū)9號(hào)樓南區(qū)，現(xiàn)有場(chǎng)地面積3000余平方米，其中專業(yè)實(shí)驗(yàn)研發(fā)基地面積1280平方米?，F(xiàn)有研發(fā)團(tuán)隊(duì)26人，其中正高級(jí)職稱3人，副高級(jí)職稱1人，博士4人。工程中心依托中科院雄厚的研發(fā)力量、人才優(yōu)勢(shì)和綜合技術(shù)實(shí)力,立足嘉興，輻射長(zhǎng)三角，以應(yīng)用科學(xué)研究為基礎(chǔ)，以技術(shù)研究、技術(shù)推廣、項(xiàng)目合作、人才培養(yǎng)為合作領(lǐng)域，開展微電子成套設(shè)備技術(shù)研發(fā)與應(yīng)用，設(shè)立重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、工程中心和孵化基地，大力推動(dòng)微電子成套設(shè)備技術(shù)在地方經(jīng)濟(jì)發(fā)展中的作用。已成功開展包含原子層沉積在內(nèi)的高端半導(dǎo)體裝備項(xiàng)目研發(fā)。近年來，工程中心陸續(xù)承的擔(dān)國(guó)家科技重大專項(xiàng)子項(xiàng)目《45nm以下顆粒檢測(cè)與化學(xué)沾污檢測(cè)集成系統(tǒng)的研發(fā)》、浙江省科技項(xiàng)目《用于光刻膠抗刻蝕能力強(qiáng)化的連續(xù)滲入合成（SIS）設(shè)備及技術(shù)開發(fā)》等科研、產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，取得了豐碩的成果。研發(fā)的ALD設(shè)備成功通過大型微電子、MEMS制造企業(yè)產(chǎn)線驗(yàn)證，成為國(guó)內(nèi)首個(gè)進(jìn)入大批量制造產(chǎn)業(yè)化市場(chǎng)的原子層沉積機(jī)型，打破了國(guó)外設(shè)備的壟斷。除了自身科研外，中心依托中心強(qiáng)大的人才隊(duì)伍和儀器設(shè)備研發(fā)能力，為浙江地區(qū)高校乃至外省高校提供的實(shí)習(xí)基地和人才培訓(xùn)服務(wù)，滿足了高等學(xué)校普遍存在的缺乏將理論與實(shí)踐相結(jié)合的條件，并獲得了學(xué)校的認(rèn)可和廣泛好評(píng)，最大程度的發(fā)揮本工程中心的優(yōu)勢(shì)為社會(huì)培養(yǎng)更多具有工匠精神的人才。