職位目標:
主導(dǎo)下一代大尺寸、高均勻性等離子體諧振腔的研發(fā)與工程化,重點解決現(xiàn)有設(shè)備在擴徑生長(如直徑≥100mm)中的等離子體分布不均、功率耦合效率低、工藝穩(wěn)定性不足等核心問題,推動金剛石生長工藝發(fā)展。
核心挑戰(zhàn)(需實際攻克的問題):
- 大尺寸均勻性控制:如何在擴大腔體尺寸時維持等離子體均勻。
- 高功率穩(wěn)定性:在10kW~15kW功率下優(yōu)化熱管理及腔體耐壓設(shè)計,抑制微波擊穿和次生等離子體。
- 工藝與腔體協(xié)同優(yōu)化:將諧振腔設(shè)計與化學(xué)氣相沉積工藝深度結(jié)合,提升金剛石生長速率與成品率。
崗位職責(zé):
- 負責(zé)MPCVD諧振腔的電磁仿真、結(jié)構(gòu)設(shè)計及多物理場耦合分析(電磁-熱-流體),優(yōu)化TM模式激勵與電場分布。
- 主導(dǎo)諧振腔的工程實現(xiàn)。
- 搭建測試平臺,完成冷熱態(tài)參數(shù)測量,對比仿真與實測數(shù)據(jù),迭代解決實際問題。
- 與工藝團隊協(xié)作,將腔體性能轉(zhuǎn)化為生長結(jié)果,并支持自動化腔體管理系統(tǒng)的技術(shù)升級。
任職要求(硬性條件):
- 本科及以上學(xué)歷,電磁場與微波技術(shù)、等離子體物理、材料工程等相關(guān)專業(yè)。
- 3年以上MPCVD或類似微波等離子體諧振腔實戰(zhàn)經(jīng)驗,具備從設(shè)計、仿真到測試、故障排查、設(shè)備量產(chǎn)的全流程項目案例。
- 熟練使用CST/HFSS/COMSOL進行腔體仿真,能獨立分析等離子體與電磁場的相互作用。
- 熟悉高功率微波系統(tǒng)、真空工藝、冷卻設(shè)計等工程環(huán)節(jié)。